6-8寸晶圆产线的老旧设备,升级其控制软件和硬件及其操作系统,将来数据链接能力,并解决备件短缺问题。
升级范围包含:
晶圆切条机, 晶圆切粒机, 晶圆研磨机, 晶圆划片机, 晶圆检测和测量设备
主要升级特征:
●保持原有的机械硬件;
●更换了包括电机,驱动,控制,CPU等关键器件在内的90%以上的电气硬件;
●更换了所有的系统及控制软件;
●设备升级后达到原机的全部性能指标;
●解决了配件缺失的困境,同时接入数据库,为工业4.0奠定基础;
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